---
title: タンタル酸リチウム研磨とは｜研磨加工の基礎知識
description: タンタル酸リチウム（LT:LiTaO3）は「表面弾性波素子」「圧電素子」「レーザー素子」などとして使用される酸化物単結晶です。表面弾性波（SAW:Surface Acoustic Wave）フィルタ用材料として最も使用されています。スマートフォンなどの通信機器に搭載されており、信号ノイズの除去を行います。
image: https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/ogp/%E3%82%BF%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%83%AB%E9%85%B8%E3%83%AA%E3%83%81%E3%82%A6%E3%83%A0%E7%A0%94%E7%A3%A8%E3%81%A8%E3%81%AF%7C%E3%83%8B%E3%83%83%E3%83%88%E3%83%BC%E3%81%AE%E5%B9%B3%E9%9D%A2%E7%A0%94%E7%A3%A8%E6%8A%80%E8%A1%93.jpg
---

[Skip to content](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/wata_230905-3#main-content) [![NITTO](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/logo.svg) ニットーの 平面研磨技術](https://www.nitto-gr.co.jp/service)

- [技術・サービス](https://www.nitto-gr.co.jp/service)
- [ニットーの生産能力](https://www.nitto-gr.co.jp/service/capacity)
- [ニットーの表面品質](https://www.nitto-gr.co.jp/service/quality)
- [研磨加工](https://www.nitto-gr.co.jp/service/polishing/)
- [研磨加工技術ブログ](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge)
  
  Show submenu for 研磨加工技術ブログ 
  
    - [記事一覧](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge)
    - [研磨加工の基礎知識](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/tag/%E7%A0%94%E7%A3%A8%E5%8A%A0%E5%B7%A5%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98)
    - [ニットーの研磨加工](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/tag/%E3%83%8B%E3%83%83%E3%83%88%E3%83%BC%E3%81%AE%E7%A0%94%E7%A3%A8%E5%8A%A0%E5%B7%A5)

- [技術・サービス](https://www.nitto-gr.co.jp/service)
- [ニットーの生産能力](https://www.nitto-gr.co.jp/service/capacity)
- [ニットーの表面品質](https://www.nitto-gr.co.jp/service/quality)
- [研磨加工](https://www.nitto-gr.co.jp/service/polishing/)
- [研磨加工技術ブログ](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge)
  
  Show submenu for 研磨加工技術ブログ 
  
    - [記事一覧](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge)
    - [研磨加工の基礎知識](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/tag/%E7%A0%94%E7%A3%A8%E5%8A%A0%E5%B7%A5%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98)
    - [ニットーの研磨加工](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/tag/%E3%83%8B%E3%83%83%E3%83%88%E3%83%BC%E3%81%AE%E7%A0%94%E7%A3%A8%E5%8A%A0%E5%B7%A5)

![NITTO](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/logo.svg)

ニットーの平面研磨技術

[お知らせ](https://www.nitto-gr.co.jp/news)[企業サイトはこちら](https://www.nitto-gr.co.jp/)

- [ホーム](https://www.nitto-gr.co.jp/service)
- [研磨加工技術ブログ](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge)
- タンタル酸リチウム研磨とは

# タンタル酸リチウム研磨とは

 2023.09.05

[研磨加工の基礎知識](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/tag/研磨加工の基礎知識)

- ![copy](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/ico_copy.svg)
  
  コピーしました
- ![print](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/ico_print.svg)この記事を印刷する
- [![mail](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/ico_mail.svg)メールで記事をシェア](mailto:?body=タンタル酸リチウム研磨とは%20https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/wata_230905-3)

## タンタル酸リチウム

#### 素子として使用される酸化物単結晶

タンタル酸リチウム（LT:LiTaO3）は「表面弾性波素子」「圧電素子」「レーザー素子」などとして使用される酸化物単結晶です。  
このLT結晶を用いて製造されたLT基板（ウエハー）は表面弾性波（SAW:Surface Acoustic Wave）フィルタ用材料として最も使用されています。スマートフォンなどの通信機器に搭載されており、信号ノイズの除去を行います。

## ニットーのタンタル酸リチウム研磨

LTウエハーは、チョコラスキー法で育成したインゴットを「円筒研削」「スライス」  
「ラップ・ポリッシュ加工」により作成されます。ニットーはラップ・ポリッシュ加工に多くの実績があります。

### ニットーのラップ・ポリッシュ加工

#### 製品仕様例：6インチ片面ミラー品

ニットーの代表例です。（6インチ片面ミラー品の製品仕様）

| 項目 | 規格 | 範囲 |
| --- | --- | --- |
| WARP | ≦ 40μm | 外周1mm除外 |
| TTV | ≦ 5μm | 外周1mm除外 |
| LTV | ≦ 0.4μm 5mmサイト | 外周1mm除外 |
| PLTV | ≧ 100％ | 外周1mm除外 |
| Ra（-面） | 0.125μm | 全面 |
| ＋面 | 傷・汚れ・クラック無きこと | 全面 |
| − 面 | 傷・汚れ・クラック無こと | 全面 |
| エッジ部 | 0.3mm超のチッピング無きこと | 外周 |

+面がミラー面、-面が粗面となっています。キズ・汚れ・クラック・チッピングは外観検査にて行い、その他は測定機による評価となります。

#### 測定例：TTV、LTV、PLTV

TTVは測定範囲全面、LTVはローカルエリアでの厚さ均一性を評価しています。  
PLTVはLTVの規格に合格している割合を表します。規格外がある場合は、赤色で表示されます。  
![PLTV=100%](https://www.nitto-gr.co.jp/hs-fs/hubfs/PLTV=100%25.png?width=500&height=277&name=PLTV=100%25.png)

PLTV＝100％

### 測定例： Ra（ポリッシュ面）

ポリッシュ面（ミラー面）の表面粗さ：Raの測定画像になります。  
原子間力顕微鏡（AFM）を用いて測定し、原子レベルの分解能で凹凸を確認できます。  
![表面粗さ=0.12nm](https://www.nitto-gr.co.jp/hs-fs/hubfs/%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E7%B2%97%E3%81%95=0.12nm.png?width=500&height=378&name=%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E7%B2%97%E3%81%95=0.12nm.png)

表面粗さ=0.12nm

## まとめ

### タンタル酸リチウム研磨についてのご相談承ります

ニットーではタンタル酸リチウムのSAWグレードのみでなく、光学用途の両面ミラーの研磨対応も可能です。また、ニオブ酸リチウムなどの様々な結晶物の研磨対応が可能です。  
試作からも承りますので、「この素材の研磨ができるかどうかも分からない…」「結晶物の研磨の性状・品質で困っている」などでお困りの企業様はぜひお気軽にご相談ください。

[![ニットーに相談する](https://hubspot-no-cache-na2-prod.s3.amazonaws.com/cta/default/39712231/interactive-139464851284.png)](https://www.nitto-gr.co.jp/hs/cta/wi/redirect?encryptedPayload=AVxigLIcB5dGwSEHewcN1lhk17B5akaLC%2F9b0XEq6JG7GmdT2i%2FhcN6FEEZ74kyHD89ojbWc8HAJas6ClwgfUi%2FQF4wJ3ibzRscTQ7k1XZgdIXz7Rv7G8OAM%2BJ813XO9y%2Fpy65F4EqeVDxviQxEYZcYGWHrjvUqCmYdtHL%2B4JVVmJ4DBTueTrDQavuttbLbmSxeCZhPW8I3SvNXE7W%2B4hgGrdW%2Bp&webInteractiveContentId=139464851284&portalId=39712231)

 

 

**研磨についての関連記事**

 

- [研磨とは](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/about-polishing)
- [ニットーの研磨加工](https://www.nitto-gr.co.jp/service/polishing/)

ダウンロード資料をご活用ください

こんなお困りごとを抱えている方におすすめの資料です。

**・高い精度の表面が求められている**  
**・検討している素材に対して、研磨ができるか調査している**

お手元に置いていただき、社内共有にもぜひお役立てください。

[![無料で資料ダウンロードする](https://hubspot-no-cache-na2-prod.s3.amazonaws.com/cta/default/39712231/interactive-128964113174.png)](https://www.nitto-gr.co.jp/hs/cta/wi/redirect?encryptedPayload=AVxigLJRUnJjp080HWebi48T13TaZ9j8kO3IPKeyeyMNUSmHD0VUAQO2BdCD9dksbs5GbPAywub1Jy2rkey6kfvfDuwRPT3BZRYz%2FWWmcdmME7N1S7qKLXpJSEt9K4ukaHEK81dHcLsWG1gzRkzE3p%2Fl4TNlGyXj4%2Fq2B6a6R7Db6pdRzymbiTR5e7UCAXzB4NvmA2EPVkdcSZT%2FuR%2BX3S0SbJF7UC8%3D&webInteractiveContentId=128964113174&portalId=39712231)

- ![copy](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/ico_copy.svg)
  
  コピーしました
- ![print](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/ico_print.svg)この記事を印刷する
- [![mail](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/ico_mail.svg)メールで記事をシェア](mailto:?body=タンタル酸リチウム研磨とは%20https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/wata_230905-3)

![ico\_aside\_download](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/ico_aside_download.svg)

 情報収集・社内共有に  
お役立てください

[![資料をダウンロードする](https://hubspot-no-cache-na2-prod.s3.amazonaws.com/cta/default/39712231/interactive-127962201467.png)](https://www.nitto-gr.co.jp/hs/cta/wi/redirect?encryptedPayload=AVxigLKNeag5s2oVL0z3ukhVlKNZb5Ivmf9UG4H3mQHvm3uyL2YUrbpJvrJLxQIBxzwx3xk4IY96D7X6l6HAPKemss57fGv5JOSABJTUwNkM53bSN3CpbOVGJ6UeItsNQNrKBzpPnVOau1YdFG0EdxqqF0cTMeq2tnjMTSxFsYJZQKyXUlD8XFCZmP39mmAh5cZvCrIK9%2BfsDL1LREMuBXq7WJG3XO0%3D&webInteractiveContentId=127962201467&portalId=39712231)

目次

よく読まれている記事

[![ラップ研磨（ラッピング研磨）とは。｜研磨加工基礎知識](https://lh5.googleusercontent.com/_TfBMRaCHhDvu038aStG6mYflfTKdt2KzTc0Lg2zhw5Htr_6MzdkkAiAUgFdcnnZWdnzhl0cDX2O9G79BvTPgvvjnl-sailNdNVRWPDqLkn-ROlSEHvbuRVfFOMeT8HOtzCr2qEeITDsJ_l914EN1kw) ラップ研磨（ラッピング研磨）とは 2023.08.31 研磨加工の基礎知識](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/nao230831) [![](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/ogp/%E7%A0%94%E7%A3%A8%E3%83%91%E3%83%83%E3%83%89%E3%81%A8%E3%81%AF%7C%E3%83%8B%E3%83%83%E3%83%88%E3%83%BC%E3%81%AE%E5%B9%B3%E9%9D%A2%E7%A0%94%E7%A3%A8%E6%8A%80%E8%A1%93.jpg) 研磨パッドとは 2023.09.08 研磨加工の基礎知識](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/polishing-pad) [![鏡面研磨（ポリッシング加工）とは](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/ogp/%E9%8F%A1%E9%9D%A2%E7%A0%94%E7%A3%A8%E3%81%A8%E3%81%AF%7C%E3%83%8B%E3%83%83%E3%83%88%E3%83%BC%E3%81%AE%E5%B9%B3%E9%9D%A2%E7%A0%94%E7%A3%A8%E6%8A%80%E8%A1%93.jpg) 鏡面研磨（ポリッシング加工）とは 2023.08.31 研磨加工の基礎知識](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/wata_230831-1)

![資料をダウンロードする](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/img_download.svg)

 情報収集・社内共有に  
お役立てください

[![資料をダウンロードする](https://hubspot-no-cache-na2-prod.s3.amazonaws.com/cta/default/39712231/interactive-127962201467.png)](https://www.nitto-gr.co.jp/hs/cta/wi/redirect?encryptedPayload=AVxigLKNeag5s2oVL0z3ukhVlKNZb5Ivmf9UG4H3mQHvm3uyL2YUrbpJvrJLxQIBxzwx3xk4IY96D7X6l6HAPKemss57fGv5JOSABJTUwNkM53bSN3CpbOVGJ6UeItsNQNrKBzpPnVOau1YdFG0EdxqqF0cTMeq2tnjMTSxFsYJZQKyXUlD8XFCZmP39mmAh5cZvCrIK9%2BfsDL1LREMuBXq7WJG3XO0%3D&webInteractiveContentId=127962201467&portalId=39712231)

![試作のご相談はこちら](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/img_test.svg)

 素材・製品を開発中で  
試作をしたい方

[![試作のご相談はこちら](https://hubspot-no-cache-na2-prod.s3.amazonaws.com/cta/default/39712231/interactive-127962201478.png)](https://www.nitto-gr.co.jp/hs/cta/wi/redirect?encryptedPayload=AVxigLIcdYodbZWkClIjgFcipmOxrdF6CjXK9KC74jOvRO1c7crIWn4KXtx0IPYN6tw0qVGx%2B9CFLiFyn3lFSuDc23vJ8FWtv00dhkan9%2BVgvrEVDhko5oKD3YgNfiek0etFLnnYuWirE3BB1MjCg2rlbO0J3pzYbjmRFQL4PMhBQxQENLH%2B4lbPKZfFocRBDvR3daK%2BwyhOEuyg8axzkqssCw%3D%3D&webInteractiveContentId=127962201478&portalId=39712231)

![お問い合わせはこちら](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/img_contact.svg)

 素材・製品で  
課題をお持ちの方

[![お問い合わせはこちら](https://hubspot-no-cache-na2-prod.s3.amazonaws.com/cta/default/39712231/interactive-127962201481.png)](https://www.nitto-gr.co.jp/hs/cta/wi/redirect?encryptedPayload=AVxigLKY621FbFxp7aLJbQ40pvHAhQXTuSjAbHL3h2dlCpTfwcx%2FzHuDdBdhFSdhOAkPiDVMkT3dAS%2FTPUwZ4D33sNGLcvEH5l7aSS9tyvMbalw58ikFmQi99DRmPst%2BPFeRMWYd5odNa5JK2t8ABTJVCzaQnsTUWaEUf0LxWp9G0tFVO6hmBI57mJdDuOIdsm97fJRmai4d2OsLYwDAwosBCEHf&webInteractiveContentId=127962201481&portalId=39712231)

[![資料をダウンロードする](https://hubspot-no-cache-na2-prod.s3.amazonaws.com/cta/default/39712231/interactive-127962201485.png)](https://www.nitto-gr.co.jp/hs/cta/wi/redirect?encryptedPayload=AVxigLJ32nEc06m%2FlOv%2BZ9tOEoe7I8INbjWwYftBUNv5D9dly%2Be2nbCmvWeD%2B2ucvODxXUP9Yxoc8Itv4aAMj%2BniqsAia66rm14pMalsZysOqjogv8JCJodIHGcSC9KdUGI1lHgX%2Bnm0p%2BhfOR7lxSZbHwaH%2BwSnWEl6Nh%2BAwXlqQvBsDpqnOIdolBQvkGz1NwLsg7KscKiVs9pwIUPFGXcn8sxxFVs%3D&webInteractiveContentId=127962201485&portalId=39712231)

[![試作のご相談はこちら](https://hubspot-no-cache-na2-prod.s3.amazonaws.com/cta/default/39712231/interactive-127962201487.png)](https://www.nitto-gr.co.jp/hs/cta/wi/redirect?encryptedPayload=AVxigLJlMRD155VWEhhm2BdX5j4WF4z3IfipZADiTI5ltuzlXTz9KdBKlrowb2PfUzRkGFMx3wICGAwvhFz8FrfyQQVSlDqcwog6BCdZLxuBuC8RfNbDhPqMD3ijWBw1o9prfI9eakl27GS%2BXskCIzm3qLZ4JPsGpoFnA65M8%2FHWhZNacFyoLaZLAOBGB6r1v7%2FGcl5NWNt%2FLGTkMSrE1VOpmg%3D%3D&webInteractiveContentId=127962201487&portalId=39712231)

[![お問い合わせはこちら](https://hubspot-no-cache-na2-prod.s3.amazonaws.com/cta/default/39712231/interactive-127962201492.png)](https://www.nitto-gr.co.jp/hs/cta/wi/redirect?encryptedPayload=AVxigLIP3smpyz63ZpCjh80X%2F%2FRi5MAC7%2Bm%2BocLbY0YY9m19%2BfWFyFe1pBnYRRFCpetiBMVahM5IQuzDfL%2BcvZOmQOeftRjmR%2BIutEeDFrJuN5b7f0DWGgfCnyUs8eLWpDbJ4YlUOzhHmhA8ltzU1Uaeap1FL3BO%2FdO5ZGO%2FY5uDpVSmOeOlj201CKFXV2ibzcT6Ykqyf4lCLAfDwXjbWjSyoFJp&webInteractiveContentId=127962201492&portalId=39712231)

[![page top](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/btn_pagetop.svg)](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/wata_230905-3#pagetop)

[![logo](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/logo.svg)](https://www.nitto-gr.co.jp/service)

ニットーの平面研磨技術

[![企業サイトを見る](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/bnr_corporate.svg)](https://www.nitto-gr.co.jp)

- 技術・サービス

- [ニットーの生産能力](https://www.nitto-gr.co.jp/service/capacity)
- [ニットーの表面品質](https://www.nitto-gr.co.jp/service/quality)
- [研磨加工](https://www.nitto-gr.co.jp/service/polishing/)

- [資料ダウンロード](https://www.nitto-gr.co.jp/service/documents)
- [試作のご相談](https://www.nitto-gr.co.jp/service/trial)
- [お問い合わせ](https://www.nitto-gr.co.jp/contact)
- [お知らせ](https://www.nitto-gr.co.jp/news)
- [プライバシーポリシー](https://www.nitto-gr.co.jp/policy)

- [研磨加工技術ブログ](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge) 
    - [記事一覧](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge)
    - [研磨加工の基礎知識](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/tag/%E7%A0%94%E7%A3%A8%E5%8A%A0%E5%B7%A5%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98)
    - [ニットーの研磨加工](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/tag/%E3%83%8B%E3%83%83%E3%83%88%E3%83%BC%E3%81%AE%E7%A0%94%E7%A3%A8%E5%8A%A0%E5%B7%A5)
    - [ガラスの研磨](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/tag/%E3%82%AC%E3%83%A9%E3%82%B9%E3%81%AE%E7%A0%94%E7%A3%A8)
    - [樹脂の研磨](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/tag/%E6%A8%B9%E8%84%82%E7%A0%94%E7%A3%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%B9%E3%83%81%E3%83%83%E3%82%AF%E7%A0%94%E7%A3%A8)

© 2026 株式会社ニットー

```json
{
  "@context" : "https://schema.org",
  "@type" : "BlogPosting",
  "author" : {
    "@type" : "Person",
    "name" : "ニットー",
    "url" : "https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/author/ニットー"
  },
  "dateModified" : "2024-01-14T13:26:54.798Z",
  "datePublished" : "2023-09-05T08:41:25.000Z",
  "headline" : "タンタル酸リチウム研磨とは｜研磨加工の基礎知識",
  "image" : [ "https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/ogp/%E3%82%BF%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%83%AB%E9%85%B8%E3%83%AA%E3%83%81%E3%82%A6%E3%83%A0%E7%A0%94%E7%A3%A8%E3%81%A8%E3%81%AF%7C%E3%83%8B%E3%83%83%E3%83%88%E3%83%BC%E3%81%AE%E5%B9%B3%E9%9D%A2%E7%A0%94%E7%A3%A8%E6%8A%80%E8%A1%93.jpg" ],
  "mainEntityOfPage" : {
    "@id" : "https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/wata_230905-3",
    "@type" : "WebPage"
  },
  "publisher" : {
    "@type" : "Organization",
    "logo" : {
      "@type" : "ImageObject"
    },
    "name" : "株式会社 ニットー"
  }
}
```