ラップ研磨（ラッピング研磨）とは

研磨加工と一口で言っても「砥石研磨」「ラッピング研磨」「ポリシング研磨（バフ研磨）」「バレル研磨」「電解研磨」などたくさんの種類があります。この記事ではラップ（ラッピング）研磨について説明いたします。

ラップ研磨（ラッピング研磨）とは

ラップ研磨とは「表面加工処理技術」を指します。
シリコンウエハや光学部品、精密部品をはじめとする工作物の表面を磨くための処理技術です。そのため「ラッピング加工」「鏡面研磨」とも呼ばれます。

ラップ研磨の加工方法

ラップ盤と呼ばれる平坦な円盤状の台に製品を載せて液体状のラップ材（研磨剤）を流し込み、上下から圧力をかけて研磨していく加工方法となります。

ラップ研磨とポリシング（鏡面）研磨の違い

ラップ研磨といっても、取り扱う業界によっては鏡面研磨を示す場合もあります。

ニットーの認識としては区分けを行っております。

ラップ研磨

表面状態

摺り面、砂掛け、梨地仕上げ（光沢なし）

役割

素材の厚みやバラつき、うねり、歪みを除去する

ポリシング研磨

表面状態

鏡面仕上げ（光沢あり）

役割

加工変質層を除去し、粗さを細かくする（鏡面状態にする）

ポリシング研磨の加工法

ポリシング研磨はラップ研磨と同様に砥粒を含んだ研磨剤を流し込み、上下から圧力をかけて研磨していく加工方法ですが、硬質なラップ盤（定盤）ではなく、フェルトなどの柔らかい素材を用いて加工物を磨きます。

仕上げ面の違いから業界によっては「ラップ研磨」を粗加工、「ポリシング研磨」を仕上げ加工と分けている場合もあります。

ラップ研磨の種類

「湿式」と「乾式」

湿式（遊離砥粒加工法）

研削作用を持つ砥粒が入った研削液や水を用いて研磨する方法（遊離砥粒加工法）

乾式（固定砥粒加工法）

砥粒がラップ盤等に固定化され引っかき痕を起こすことで研磨する方法（固定砥粒加工法）

ラップ盤の種類

ラップ盤は研磨や平坦化などの加工作業に使用される装置を指します。
ラップ盤には「片面ラップ盤」と「両面ラップ盤」があります。

ラップ研磨の原理、加工方法

ラップ材（研磨材）

湿式のラップ研磨には砥粒を含んだラップ剤（研磨剤）を用います。
ラップ剤には種類があり、酸化アルミニウムや炭化ケイ素、ダイヤモンドなどの粒子が使用されます。これらの粒子は異なる粒度や硬度を持ち、研磨の目的や材料の特性に合わせて選択されます。

ラップ研磨（遊離砥粒加工法）の加工方法

• 「ラップ盤」と呼ばれる平坦な円盤状の台がある専用装置を使って行います
• 両面同時にラップ研磨を行えるタイプの装置には「キャリア」と呼ばれる加工対象物を保持するための治具があり、キャリアの中に加工対象物を入れて加工を行います
• ラップ盤に製品を載せて上下のラップ盤で挟み込みます
• 砥粒を含んだラップ剤を流し込み、上ラップ盤から圧力をかけつつ、上下のラップ盤、キャリアを回転させながら研磨します
• 流動する砥粒によって研磨する遊離砥粒加工法に分類されます

まとめ

一言でラップ研磨（ラッピング研磨）と言っても、取り扱う業種によって様々な認識があります。当社の考えるラップ研磨とは「素材の板厚バラツキ」「うねり」「歪み」を整えたり、除去するための加工です。

ポリシング加工の前工程としても重要

ラップ研磨の後にポリシング研磨（鏡面）加工がありますが、板厚バラツキ、うねり、形状（平面度、平行度）精度についてはポリシング研磨では対応できません。ラップ研磨でそれらを作りこむことが重要と考えております。

歩留りの悪さの原因かもしれません

研磨の品質に関わる領域ですので、「仕様通りの数値が出ているのに歩留りが悪い」とお困りの場合はラップ研磨での対応が問題かもしれません。ニットーは試作も承りますので、生産品の歩留りでお困りの企業様はお気軽にご相談ください。