共焦点レーザー変位計（非接触厚み測定器）について

目次

・共焦点レーザー変位計（非接触厚み測定器）とは

・共焦点レーザー変位計の特徴

・測定可能サイズと厚み、測定精度

・測定イメージ

・まとめ 

共焦点レーザー変位計（非接触厚み測定器）とは

ガラスや樹脂基板など、透明体のサンプルにレーザーを当てることで板厚を割り出す測定器です。レーザーが透明体のサンプルを通過し、サンプルの表面と裏面からの反射の時間差を利用して測定する仕組みです。そのため、粗面や曇りガラス状などの表面の凹凸が大きい面状態では、レーザーが裏面まで到達せず測定が出来ません。また、鏡面のようなレーザーが通過しない物質も測定が出来ません。

共焦点レーザー変位計の特徴

弊社のレーザー変位計は測定テーブルの移動が行える機構となっており、X・Y・Z方向へ微調整が可能です。よって、大きなワークサイズでも任意の位置での厚みを測定することが出来ます。

またレーザーのためワークと非接触での測定が可能であり、マイクロメーターを用いた際に発生する「測定痕」が残りません。

※但し、ワークを保持するための箇所が数点有り、稀に薄い跡が残ってしまう可能性が有ります。

測定可能サイズと厚み、測定精度

　サイズ　最大680×880

　厚み　0.3㎜～2.0㎜

　測定精度　0.01μm

測定イメージ

まとめ

弊社では、マイクロメーターでは測定できない大きなサイズの基板の厚み測定（Φ300や□500サイズ中心付近など）や、お客様ご指定の座標に合わせて測定を行っております。

特にTTVの規格が厳しい仕様では、独自の研磨加工方法により精度出しを行った後、対象機器で板厚測定を実施することで品質を保証しております。

是非お気軽にお問い合わせください。