研磨


研磨

超精密研磨加工と月産数百万枚以上の加工実績
加工工程 加工品

フォトマスク、液晶パネル、各種光学用フィルターなど、最高の精度が求められるこれらのジャンルで、ニットーは、精度と量産化、この二つの両立を実現しています。それを可能にしているのが、自社開発の両面研磨機。ガラスが自重でたわむほどの薄さに、極限の平面度。最高レベルの加工精度を保ちながら、ニットーでは月産数百万枚以上の加工実績を持っています。

対応素材

ソーダライムガラス 石英 耐熱ガラス
低熱膨張ガラス 光学ガラス
低Tg光学ガラス 無アルカリガラス
アルミナ SiC MgO ジルコニア サファイア
タンタル酸リチウム(LT) ニオブ酸リチウム(LN)
酸化マグネシウム ポリカーボネート
アクリル エポキシ樹脂 PPSなど

加工内容
  • 両面平面研磨
  • アンバランス両面研磨
  • 片面平面研磨
  • 端面研磨
  • ボール研磨
  • ベベル研磨
  • 液晶パネル研磨
  • 液晶単個研磨
研磨機保有台数
100台以上保有
対応サイズ

両面 13001500mm以下
片面 8501400mm以下

精度
平面度1μm以下 平行度1μm以下 表面粗さ1Å以下
対応板厚
両面研磨0.05mm以上
高精度を支える測定器

原子間力顕微鏡(AFM) 粒度分布計 微分干渉顕微鏡 レーザー干渉計
斜入射レーザー干渉計 フラットネステスター(フォトマスクブランクス用) など

まだまだある! ニットーの底力
  • 素材の手配からの加工も承ります
  • ガラス、セラミック、プラスチック、金属
    素材も選びません
  • 色ガラス(光学ガラス)IR カットガラスなど、
    研磨加工が難しいガラスも経験豊富
  • 液晶パネルを0.1mmの薄さまで加工
  • ポリカーボネートなど柔らかい素材にも対応
  • エポキシガラスなど固い素材でも板厚公差±2μm
  • 液晶パネル薄型化開発のための単個対応可能
  • 厚み0.05mmのガラスを量産研磨加工できます。

>>ニットーの研磨実績を見る

製造工程

研磨 精度に応じて最大で4度の研磨を行います。
当社独自開発の研磨機を用い、表面粗さは最高で1Å以下の精度で研磨することができます。高い精度の平行度を出すことができる両面研磨機は、大型の素材でも高い平行度を保つことができます。また、非常に高い表面粗さの精度を出すことができる片面研磨機も保有しております。お客様のご要望にあわせまして1枚~月産数百万枚以上の生産実績があります。
研磨機
LAP
POL
洗浄 クラス10の超純水で洗浄します。
枚様式洗浄機
枚葉式洗浄機
枚葉式スクラブ洗浄方式とディップ式多槽洗浄方式の洗浄機を備えており、ロット毎に自動洗浄を行います。洗浄機内はクラス10以下という洗浄ラインとなっています。洗浄には18MΩcm以上の超純水を使用し、乾燥方式は環境面にも配慮し、有機溶剤などの使用は極力避け、温純水で行っています。

検査 クラス100の検査室、集光器を完備。
検査
研磨工程で1Åの精度の表面粗さを求め、さらに、超純水で洗浄を行っても、それ以降の工程で傷をつけては製品になりません。 製品の最終チェック工程である検査工程はクリーン度クラス100以下の垂直層流方式のクリーンルーム内で行い、クラス10以下の検査ブース内で検査を行います。

出荷 専用の梱包ケースに入れ出荷します。

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